4月8日，半导体设备厂商拓荆科技发布公告称，拟携手沈阳市国资委等共同发起设立集成电路装备及零部件创新中心。
根据公告，拓荆科技拟与沈阳市国资委及其他产业合作方共同发起设立辽宁省集成电路装备及零部件创新中心（暂定名，最终名称以登记部门核准的名称为准，以下简称“创新中心”）。

图片来源：拓荆科技公告

拓荆科技是国内知名的半导体设备厂商，主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD等薄膜设备产品系列，该产品系列已广泛应用于国内集成电路逻辑芯片、存储芯片等制造产线。此外，拓荆科技还推出了应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备产品系列，已实现产业化应用。

对于此次携手国资委等共同设立创新中心一事，拓荆科技表示，本次创新中心的设立，将充分整合多方优势资源共同发挥积极作用。一方面，沈阳市国资委发挥统筹协调作用，依托其丰富的资源，帮助创新中心对接投资人，为创新中心的发展提供资金支持并营造良好环境；另一方面，公司与其他产业方凭借在半导体设备领域的突出行业地位和深厚的技术优势，为创新中心的发展提供有力支撑。创新中心将基于这些资源和优势的整合，积极响应国家战略发展规划，围绕半导体产业发展趋势布局前沿技术，进一步推动整机装备和零部件企业集聚发展，不断增强产业协同效应和创新能力，助力国家集成电路产业实现高质量发展。

目前，创新中心尚处于筹划阶段，尚需当地行政主管部门批准并进行登记，公司将积极推动创新中心的设立。

辽宁加速集成电路装备产业推进

2025年是《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施的通知》（以下简称《若干措施》政策实施的最后一年。

此前，辽宁省政府印发的《若干措施》明确提到，要加强创新平台建设，对新认定和新批准设立的集成电路装备整机和关键零部件领域国家级和省级重点实验室、工程研究中心、技术创新中心、产业创新中心、企业技术中心、制造业创新中心等创新平台按规定给予支持。

当前，辽宁正在加快培育壮大集成电路装备整机和关键零部件产业，并有望在今年进一步加速集成电路装备产业发展的步伐。沈阳作为辽宁的省会城市，目前已经集聚了拓荆科技、芯源微电子、沈阳可仪、以及富创精密等龙头企业。今年以来，沈阳在集成电路装备产业更是大动作不断。

其中芯源微电子总投资10亿元的高端晶圆处理设备产业化项目和拓荆科技总投资20亿元的高端半导体设备产业化基地项目于3月相继开建；富创精密则计划联合共同投资人收购浙江镨芯合计80.81%的股权，从而间接取得新加坡半导体设备零部件公司Compart公司控制权；贺利氏石英沈阳新工厂竣工投产等。据辽宁日报等媒体报道，2025年，沈阳将推进74个集成电路装备产业项目。

在产业部署过程中，沈阳主要将目标瞄向半导体装备领域，并且已经形成了以整机和零部件为核心的产业集群。未来，沈阳有望在龙头企业带动、重点项目推进以及跨区域合作下，推动集成电路装备产业发展，进一步助力沈阳打造全国集成电路装备及零部件重点产业基地。

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